FV伏为DDS平台可由多种型号自由搭配、扩展性好，可以组合成X+Y、X+Y+θ、X+θ三种运动方式；重复定位精度：直线轴+/-0.5um、θ轴+/-0.8arc-sec

快速实现电子部品检测纠偏的高精度应用要求